半导体工艺中超高纯气的稳定供应技术

• 作者: 刘俊义 韩美
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造工艺 超高纯气体 供应
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TQ022.11
• 字数: 4381字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2000.02.007

摘要

新的半导体制造工艺要求高精度,具有可再现性的科学化的制造技术,因此对超高纯气的供应技术提出了更高要求.