铝膜穿透性阳极氧化技术

• 作者: 王立春
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 多层布线 阳极氧化 恒流期 衰减期
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 5-6
• 页数: 3页
• 分类号: TN451
• 字数: 2595字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2000.05.003

摘要

铝膜穿透性阳极氧化是实现阳极氧化铝薄膜多层布线基板制作的关键技术.研究了电流密度、电解质溶液温度和铝膜厚度对氧化时间的影响.绝缘电阻测定及扫描电子显微镜分析的结果证实了采用穿透性阳极氧化技术制作导带,导带间不存在残余铝薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立春		5	0	0.0	0.0