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对提高HgCdTe小片光刻图形分辨率的讨论
对提高HgCdTe小片光刻图形分辨率的讨论
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摘要：
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基于闪耀光栅图形化实现高分辨率干涉光刻
图形化干涉光刻
傅里叶光学
衍射效率
激光直写
数字微镜器件
影响全息光刻图形质量的因素
全息光刻
衍射效率
光刻
关于方向空间分辨率的讨论
分辨率
空间分辨率
共炮检距
数字掩模投影光刻的极限分辨率研究
激光技术
仪器数字掩模投影光刻
数字微镜器件
跨尺度
飞秒激光
分辨率
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期刊影响力
红外技术
主办单位：
昆明物理研究所
中国兵工学会夜视技术专业委员会
出版周期：
月刊
ISSN：
1001-8891
CN：
53-1053/TN
开本：
大16开
出版地：
昆明市教场东路31号《红外技术》编辑部
邮发代号：
64-26
创刊时间：
1979
语种：
chi
出版文献量（篇）
3361
总下载数（次）
13
总被引数（次）
30858
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