类金刚石薄膜碲镉汞红外器件钝化膜的研究

• 作者: 吴汶海 夏义本 居建华 汤定元 王林军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 红外 钝化膜 界面
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 253-256
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.03.009

摘要

采用等离子增强化学气相法(PECVD)在碲镉汞(MCT)衬底上沉积出纳米团聚的类金刚石薄膜(DLC).用原子力显微镜(AFM )和侧向力显微镜(LFM)对DLC和MCT表面形貌进行表征;用俄歇电子能谱(AES)对DLC/MCT界面附近各元素含量的分布进行分析研究.结果表明:当膜厚达到25nm以上,这种DLC膜就能够有效地抑制MCT中HgTe的分解和Hg与Te的外扩散.AFM 和LFM的观察结果表明,原始MCT晶片经100℃在氮气气氛中退火30min,表面区域出现了不同与MCT的微米量级的新相,而由DLC膜保护的MCT晶片表面就没有观察到这种由分解反应引起的相变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏义本	上海大学材料科学与工程学院	111	725	13.0	19.0
3	王林军	上海大学材料科学与工程学院	109	441	11.0	14.0
4	居建华	上海大学材料科学与工程学院	28	114	7.0	9.0
6	汤定元	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家实验室	16	70	4.0	7.0
7	吴汶海	上海大学材料科学与工程学院	4	5	1.0	1.0