金刚石薄膜的研究进展

• 作者: 潘俊德 窦瑞芬
• 来源期刊: 太原理工大学学报
• 关键词: 金刚石薄膜 合成方法 成核机理 影响因素 应用领域
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 页码范围: 612-615
• 页数: 4页
• 分类号: O613.71|O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9432.2000.06.003

摘要

介绍了近几年来发展较快的合成金刚石薄膜的几种方法,以及合成过程中的成核机理,并重点讨论了影响金刚石薄膜质量的几个因素.同时对目前金刚石薄膜的应用领域和其中存在的问题作了简要讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘俊德	太原理工大学表面工程研究所	49	912	15.0	29.0
2	窦瑞芬	太原理工大学表面工程研究所	6	28	3.0	5.0