Si1-xGex/Si多层异质外延结构的研究

• 作者: 刘道广 张静 易强 李开成 郭林
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: Si1-xGex/Si 异质外延 异质结双极晶体管 分子束外延
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 217-220
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 2013字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-3365.2000.04.002

摘要

对制作的Si1-xGex/Si多层异质外延结构进行了研究.并对其做了反射高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)和扩展电阻(SR)等测量,给出了利用这种结构研制出的异质结双极晶体管(HBT)的输出特性曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李开成		7	41	4.0	6.0
2	刘道广		4	24	3.0	4.0
3	张静		12	42	4.0	6.0
4	郭林		1	7	1.0	1.0
5	易强		2	18	2.0	2.0