GaAs表面硫钝化研究新进展

• 作者: 徐彭寿 徐法强 谢长坤
• 来源期刊: 物理
• 学科: 化学
• 关键词: GaAs 钝化 表面复合 光致发光
• 年，卷（期）: 2000,（11）
• 所属期刊栏目: 知识和进展
• 页码范围: 673-678
• 页数: 6页
• 分类号: O6
• 字数: 5042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2000.11.007

摘要

GaAs及其他Ⅲ-Ⅴ族半导体表面钝化一直是人们 感兴趣的研究课题，在半导体器件制造工艺的发展中起着重要的作用，文章着重从钝化方法 和钝化机理两方面简单地回顾了近年来GaAs表面硫钝化的最新研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐彭寿	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	70	488	10.0	19.0
2	徐法强	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	41	370	7.0	18.0
3	谢长坤	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	8	58	4.0	7.0