振镜二维扫描的图形畸变校正和曝光量补偿

• 作者: 吴亚平 张天序 曹治国 桑农 汪国有
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 振镜扫描 图形畸变 曝光量补偿
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 页码范围: 115-119
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 字数: 2414字
• 语种: 中文

摘要

要讨论了物镜前振镜二维扫描光学系统中图形畸变的产生原因,分析比较了图形畸变与振镜布放、像面坐标系方位及fθ特性误差等的关系，并结合视场大小为75×75的实际物镜fθ特性误差的最小二乘拟合,给出了校正图形畸变的准确关系式。另外,在矢量扫描方式中光斑移动速度的非线性会导致扫描图形各部分曝光不均匀,文中也给出了对扫描图形曝光量加以补偿的方法和公式。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴亚平	华中理工大学图像识别与人工智能研究所图像信息处理与智能控制教育部重点实验室	4	107	3.0	4.0
2	张天序	华中理工大学图像识别与人工智能研究所图像信息处理与智能控制教育部重点实验室	26	702	16.0	26.0
3	桑农	华中理工大学图像识别与人工智能研究所图像信息处理与智能控制教育部重点实验室	13	281	8.0	13.0
4	汪国有	华中理工大学图像识别与人工智能研究所图像信息处理与智能控制教育部重点实验室	7	131	5.0	7.0