基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
讨论了有关硅基微机械式光调制技术的基本原理和一些相关的制作方法,尝试制作了多层膜光反射调制器样品,并进行了初步测试.
推荐文章
用Fabry-Perot干涉仪测量上层大气风场的速度和温度
FPI
多普勒效应
干涉成像光谱技术
风场的速度、温度和光源辐射强度
Fabry-Perot谐振天线研究综述
Fabry-Perot谐振天线
EBG谐振天线
漏波天线
缺陷模
人工磁导体
频率选择表面
单光子调制锁定Fabry-Perot腔
单光子
Fabry—Perot腔
频率锁定
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 微型Fabry-Perot机械式光调制器研究
来源期刊 半导体技术 学科 工学
关键词 微电子机械系统 光调制器 Fabry-Perot 光学腔 表面微机械加工
年,卷(期) 2000,(4) 所属期刊栏目 设计与开发
研究方向 页码范围 18-21
页数 4页 分类号 TN761
字数 2197字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.04.005
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
2000(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
微电子机械系统
光调制器
Fabry-Perot
光学腔
表面微机械加工
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体技术
月刊
1003-353X
13-1109/TN
大16开
石家庄179信箱46分箱
18-65
1976
chi
出版文献量(篇)
5044
总下载数(次)
38
总被引数(次)
24788
论文1v1指导