PZT铁电厚膜声纳换能器

• 作者: 刘梅冬 夏冬林 曾亦可
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: PZT 铁电厚膜 压电效应 声纳换能器 灵敏度
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 科技动态
• 页码范围: 34-36
• 页数: 4页
• 分类号: TM282
• 字数: 2240字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2000.05.015

摘要

综述了PZT厚膜单元声纳换能器和8×8阵列声纳换能器的制备方法、结构和性能,并介绍了PZT厚膜声纳换能器的应用及发展前景.该厚膜是利用改进的sol-gel工艺制备的,厚度为4～12 μm.4 μm厚的PZT厚膜的纵向压电系数d33为140～240 pC/N,剩余极化强度Pr为28×10-6 C/cm2,矫顽场强EC为30×103V/cm,相对介电系数εr为1 400.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾亦可	华中科技大学电子科学与技术系	65	723	15.0	25.0
2	刘梅冬	华中科技大学电子科学与技术系	41	707	16.0	25.0
3	夏冬林	华中科技大学电子科学与技术系	11	265	8.0	11.0