InGaAs薄膜电共沉积研究

• 作者: 李浴春 杨志伟 王喜莲 韩爱珍 韩竞科 高元恺
• 来源期刊: 电化学
• 学科: 化学
• 关键词: InGaAs薄膜 电共沉积 透射率
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 技术论文
• 页码范围: 463-468
• 页数: 6页
• 分类号: O646|TQ153.2
• 字数: 2508字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3471.2000.04.014

摘要

本文应用优化工艺条件的电共沉积方法,制备发射光近于1.3～1.5 μm波长的InGaAs薄膜.用能谱分析仪进行薄膜成分分析;分光光度计和单色仪测量薄膜的透射率,同时也测量了薄膜的V-I特性、导电类型及其表面形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王喜莲	哈尔滨工业大学电子科学与技术系	11	42	3.0	6.0
2	杨志伟	山东大学光电所	9	104	5.0	9.0
3	韩爱珍	哈尔滨工业大学电子科学与技术系	9	12	2.0	2.0
4	李浴春	哈尔滨工业大学电子科学与技术系	2	3	1.0	1.0
5	韩竞科	哈尔滨工业大学电子科学与技术系	2	10	1.0	2.0
6	高元恺	哈尔滨工业大学电子科学与技术系	4	5	2.0	2.0