快速热退火对GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器的修饰

• 作者: 刘兴权 周均铭 徐文兰 李娜 李宁 沈学础 袁先璋 陆卫 陈效双 黄绮
• 来源期刊: 半导体学报
• 关键词: 量子阱 红外探测器 快速退火 光电流谱
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 264-267
• 页数: 4页
• 字数: 1677字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2000.03.011

摘要

应用快速热退火的方法将GaAs/AlGaAs多量子阱红外探测器的峰值响应波长从7.7μm移动到8～14μm大气窗口内.通过测量单元器件的光电流谱、响应率和I-V特性，分析了快速热退火对GaAs/AlGaAs多量子阱红外探测器性能的影响.