准LIGA技术在微传感器制造中的应用

• 作者: 魏兵
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 准LIGA技术 光刻 三层光刻胶工艺 微电铸 微复制
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 实用技术
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: TH703
• 字数: 1990字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2000.03.014

摘要

准LIGA技术吸收了体硅微加工技术和LIGA技术的优点,利用此技术,用普通光学曝光机可将光刻图形转移到较厚的光刻胶上,获得较大的深宽比,从而解决了LIGA 技术的光源问题.简要介绍了准LIGA技术的工艺过程特点和应用实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏兵	湖北工学院机械系	15	63	5.0	7.0