精密测量用光电传感器集成化研究

• 作者: 周肇飞 张涛 李文杰 王世华
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光电传感器 传感器集成 精密测量,表面粗糙度测量 测微仪
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 集成光学与波导光学
• 页码范围: 31-35
• 页数: 5页
• 分类号: TP212|TN256
• 字数: 3452字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2000.05.008

摘要

描述将散射法、三角法、干涉法三种不同工作原理的光电传感器功能集成为一个新的传感器,即一个具有同一光源、共用光路和同一光电信号接收器件的传感器.它可同时测量Ra=0.0025μm～5μm范围内的表面粗糙度、表面微观形貌,以及0 ～300μm的微小位移.测量精度与采用前述三种工作原理的单个传感器相近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张涛	四川大学激光应用技术研究所	178	773	14.0	19.0
2	王世华	四川大学激光应用技术研究所	15	123	7.0	10.0
3	周肇飞	四川大学激光应用技术研究所	37	432	12.0	20.0
4	李文杰	四川大学激光应用技术研究所	5	28	3.0	5.0