ICP-AES测定硅单晶中杂质铬、铜、锰、铝、镉、钼

• 作者: 张淑珍 王春梅
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 硅单晶 发射光谱 杂质
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 25-26
• 页数: 2页
• 分类号: TH83
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2000.06.009

摘要

本文采用电感耦合等离子体发射光谱对硅单晶材料中6种金属杂质的分析进行了研究.研究了基体硅对分析元素的干扰影响及校正.采用压力溶样器制备样品,并在低温进行杂质富集,采用ICP-AES对杂质进行了分析,回收率在90%～105%之间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王春梅		4	2	1.0	1.0
2	张淑珍		3	2	1.0	1.0