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溅射条件对湿敏薄膜特性的影响
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摘要：
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溅射气压对磁控溅射TiN薄膜光学性能的影响
氮化钛薄膜
磁控溅射
溅射气压
光学性能
磁控溅射对薄膜附着力的影响
磁控溅射
附着力
综述
溅射参数对FeSiAl薄膜磁性能的影响
FeSiAl 薄膜
直流磁控溅射
溅射功率
溅射功率对磁控溅射制备Bi薄膜结构和性能的影响
直流磁控溅射
Bi薄膜
溅射功率
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相关学者/机构
期刊影响力
真空
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
开本：
大16开
出版地：
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号：
8-30
创刊时间：
1964
语种：
chi
出版文献量（篇）
2692
总下载数（次）
3
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