亚微米器件制造技术的发展动态

• 作者: 范焕章 黎想
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 亚微米器件 技术 动态
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 8-10,18
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 4307字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.01.003

摘要

主要从光刻、隔离、金属互连线三个方面讨论了亚微米器件所面临的挑战及其发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范焕章	华东师范大学电子系	1	0	0.0	0.0
2	黎想	华东师范大学电子系	1	0	0.0	0.0