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用简单节电高效的化学腐蚀法制造凹模
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电化学腐蚀法制备微细群圆柱
微细加工
电化学腐蚀
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微细群圆柱
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期刊影响力
微电机
主办单位：
西安微电机研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1001-6848
CN：
61-1126/TM
开本：
大16开
出版地：
西安市桃园西路2号
邮发代号：
52-92
创刊时间：
1972
语种：
chi
出版文献量（篇）
5187
总下载数（次）
13
总被引数（次）
33771
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