MCT关断失效分析

• 作者: 张鹤鸣 戴显英 王伟
• 来源期刊: 半导体学报
• 关键词: MCT 关断 失效分析
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 280-285
• 页数: 6页
• 字数: 3346字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2000.03.014

摘要

模拟分析了MCT关断失效机理，并进行了实验验证.结果表明，器件温度分布的不均匀性及元胞栅极寄生电阻的不等引起电流在芯片局部元胞集中，从而造成MCT的关断失效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴显英	西安电子科技大学微电子所	55	329	10.0	15.0
2	张鹤鸣	西安电子科技大学微电子所	102	510	12.0	16.0
3	王伟	西安电子科技大学微电子所	83	505	12.0	18.0