应用激光光杠杆式原子力显微镜研究光学及超光滑表面微轮廓

• 作者: 李剑白 李小芸 殷爱菡 王鸣 肖韶荣 赵安庆
• 来源期刊: 江西科学
• 关键词: 光学表面微轮廓 原子力显微镜 纳米技术 光学计量测试
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 135-139
• 页数: 5页
• 分类号: O439|TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3679.2000.03.004

摘要

论述了应用激光光杠杆式原子力显微镜(AFM)研究光学和超光滑表面微轮廓的特点和优点,指出运用AFM方法可得出干涉法等其他方法不能得出的光学表面许多信息,是测试光学和超光滑表面形貌和微轮廓的一个重要的新发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李剑白		6	59	3.0	6.0
2	李小芸		6	25	2.0	5.0
3	殷爱菡		2	19	1.0	2.0
4	赵安庆		3	19	1.0	3.0
5	王鸣		6	79	4.0	6.0
6	肖韶荣		1	1	1.0	1.0