金刚石膜热沉金属化Ti/Ni/Au体系的研究

• 作者: 何奇宇 刁习刚 崔文秀 徐英惠 杜素梅 潘存海 王少岩 蔡云虹
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: CVD 金刚石膜 金属化
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 285-289
• 页数: 5页
• 分类号: O781
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.03.015

摘要

利用电子束蒸镀实现了Ti/Ni/Au多层膜在CVD金刚石膜上的金属化,并研究了预处理和后处理工艺对多层膜在基底上结合的影响,发现高温预处理对多层膜和基底的结合有明显的改善.参照国标GJB 126-86进行了热循环试验,未发现多层膜从金刚石膜脱落.利用背散射谱研究了Ti/Ni/Au金属化体系在真空中分别加热400℃和500℃,60 min 金属层的热稳定性.结果发现:优化工艺金刚石膜和金属层间的良好结合和稳定性满足金刚石膜热沉应用的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王少岩	河北省科学院激光研究所	3	1	1.0	1.0
2	杜素梅	河北省科学院激光研究所	2	1	1.0	1.0
3	崔文秀	河北省科学院激光研究所	2	1	1.0	1.0
4	蔡云虹	河北省科学院激光研究所	2	1	1.0	1.0
5	徐英惠	河北省科学院激光研究所	2	12	1.0	2.0
6	潘存海	河北省科学院激光研究所	1	1	1.0	1.0
7	刁习刚	河北省科学院激光研究所	2	1	1.0	1.0
8	何奇宇	河北省科学院激光研究所	1	1	1.0	1.0