微机电系统科学与技术发展趋势

• 作者: 刘冲 王立鼎
• 来源期刊: 大连理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器/微机电系统 微制造技术
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 院士学术论文
• 页码范围: 505-508
• 页数: 4页
• 分类号: TH16|TN405
• 字数: 5367字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-8608.2000.05.001

摘要

阐明了微机电系统(MEMS)的学科内涵与应用范畴.着重介绍了国外MEMS的研究情况.研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术.总结了国内的研究工作,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研究情况,并提出发展我国微机电系统的几点建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘冲	大连理工大学机械工程学院	156	1345	17.0	30.0
2	王立鼎	大连理工大学机械工程学院	130	1877	24.0	38.0