掺氮四配位非晶碳薄膜的拉曼光谱和表面形貌

• 作者: 周友国 唐新桂 张海燕 杨增红 陈弟虎 魏爱香
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 四配位非晶碳薄膜 掺杂 拉曼光谱 表面形貌
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 240-244
• 页数: 6页
• 分类号: O484.41
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.03.006

摘要

采用磁过滤真空溅射离子沉积技术,用氩气和氮气共溅射石墨靶,在不同氮气分压下,制备了一组不同氮含量的四配位非晶碳薄膜(ta-C:N).用X射线光电子能谱确定ta-C:N薄膜中的氮含量;研究了氮含量对ta-C薄膜的拉曼光谱和表面形貌的影响.结果表明:不含氮的ta-C薄膜的拉曼光谱是中心在1580cm-1、范围从1200cm-1至2000cm-1的类高斯峰,表面均匀光滑;含氮的ta-C:N薄膜,其拉曼光谱分裂为1360 cm-1的D带和1580 cm-1的G带,且D带与G带的最大强度比, 以及薄膜的表面粗糙度随氮含量的增加而增大.最后讨论了氮含量对ta-C薄膜的微结构的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海燕		195	1122	15.0	22.0
2	唐新桂		26	71	5.0	6.0
3	陈弟虎		42	160	6.0	11.0
4	魏爱香		4	23	3.0	4.0
5	周友国		4	17	2.0	4.0
6	杨增红		2	13	1.0	2.0