一种可用于辐照剂量计的新型器件

• 作者: 刘毓耿 刘竞云 易清明 黄君凯
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: MNOS结构 平带电压 辐照剂量
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 器件研究与制造
• 页码范围: 17-19,28
• 页数: 4页
• 分类号: TN386.1
• 字数: 3193字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.02.005

摘要

应用高纯氮携带液氧蒸气作为氧源的热氧化技术和SiH4-NH3体系LPCVD技术,制作对辐照吸收有明显响应的MNOS器件,在103～105Gys剂量范围内其平带电压漂移值随辐照剂量的增加按指数规律衰减.样品接受辐照是非破坏性的,在接受5×105Gys的大剂量辐照后,通过简单的正负脉冲电压处理就可恢复到初始状态,并在接受新的辐照时以同样的规律给出响应,是一种可校准并可供辐照剂量探测重复使用的新器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易清明	暨南大学电子工程系	65	288	9.0	13.0
2	黄君凯	暨南大学电子工程系	34	306	10.0	16.0
3	刘竞云	暨南大学电子工程系	1	2	1.0	1.0
4	刘毓耿	暨南大学电子工程系	1	2	1.0	1.0