用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高质量氧化锌薄膜

• 作者: 刘毅南 刘益春 李炳生 楚振生 申德振 范希武
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌 薄膜 等离子体增强化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 383-384
• 页数: 2页
• 分类号: O482.3
• 字数: 738字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2000.04.023

摘要

报道了用金属锌有机源和二氧化碳混合气源等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法成功地制备高质量择优取向(0002)的ZnO薄膜.通过X-ray衍射谱进行了结构分析得到六方结构,择优取向,晶粒尺寸大约在220nm.并通过原子力显微镜分析更进一步验证了晶粒的尺寸.通过透射谱分析观察到了典型的激子吸收线.这种方法的特点是可以在低温条件下在任何衬底上生长大面积均匀性好、结晶度高的ZnO薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	楚振生	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	12	1.0	1.0
2	李炳生	中国科学院激发态物理开放研究实验室	18	66	5.0	7.0
3	刘益春	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	181	9.0	12.0
4	申德振	中国科学院激发态物理开放研究实验室	28	102	6.0	8.0
5	范希武	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	23	77	5.0	8.0
6	刘毅南	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	24	2.0	2.0