HFCVD金刚石膜的形貌对红外透射率的影响

• 作者: 孙超 宋贵宏 宫骏 闻立时 黄荣芳
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 热丝化学气相沉积 红外透射率 晶体形貌
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 页码范围: 390-393
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 1777字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.04.019

摘要

本文测量HFCVD生长的金刚石膜的红外透射率.结果表明,膜中的缺陷、杂质和非金刚石相在透射谱中产生吸收带;膜表面的粗糙度和组织形貌对透射率有较大的影响.形核表面面对红外光源时,由于减少表面散射而透射率较高;定向或高取向膜的透射率高于混杂取向膜的透射率,表明晶格取向和晶界分布影响膜的透射性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙超	中国科学院金属研究所	126	1708	23.0	34.0
2	宫骏	中国科学院金属研究所	52	464	12.0	20.0
3	黄荣芳	中国科学院金属研究所	37	704	16.0	25.0
4	闻立时	中国科学院金属研究所	117	1859	24.0	36.0
5	宋贵宏	中国科学院金属研究所	3	46	3.0	3.0