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低压反应离子镀等离子源的研制
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摘要：
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离子源辅助电弧离子镀制备MoSx自润滑涂层
自润滑涂层
中空阴极弧光离子源
电弧离子镀
MoSx涂层
力学性能
离子吸附质谱中锂离子源的研制
锂离子
离子源
质谱
火花氢离子源的等离子体特性研究
离子源
等离子体
发射光谱
速率方程
CIAE强流ECR离子源研制
ECR离子源
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相关学者/机构
期刊影响力
真空
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
开本：
大16开
出版地：
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号：
8-30
创刊时间：
1964
语种：
chi
出版文献量（篇）
2692
总下载数（次）
3
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