场发射压力传感器力敏感膜的形变特性分析

• 作者: 刘金华 张敬平 杨军 林鸿溢
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: 场发射 压力传感器 力敏感膜 形变 有限元法
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 238-240
• 页数: 3页
• 分类号: TN384
• 字数: 3032字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-3365.2000.04.007

摘要

利用有限元法计算分析了以阴极尖锥阵列体作为力敏感膜的形变特性,给出了用表达式计算尖锥阵列体形变的修正值,为后继工作提供了可以选择的技术途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨军	北京理工大学应用力学系	129	1474	20.0	31.0
2	林鸿溢	北京理工大学电子工程系	17	56	4.0	7.0
3	刘金华	山东师范大学半导体所	1	3	1.0	1.0
4	张敬平	山东师范大学半导体所	1	3	1.0	1.0