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塑料ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制
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摘要：
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基于PEM的反应磁控溅射镀膜机参数监控系统
磁控溅射
真空镀膜
串口通信
LabVIEW
用单片机控制卷绕式真空镀膜机
镀膜机
单片机
继电控制
基于CAN总线的卷绕式镀膜机蒸镀控制系统
CAN 总线
卷绕式镀膜机
AT89S52
木材磁控溅射镀膜金属试验
金属木材
磁控溅射
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期刊影响力
真空
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
开本：
大16开
出版地：
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号：
8-30
创刊时间：
1964
语种：
chi
出版文献量（篇）
2692
总下载数（次）
3
总被引数（次）
12898
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