基于小挠度假设的电容式微型压力传感器模型

• 作者: 冯勇建 许金海 颜黄萍
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 小挠度 微型传感器 接口电路
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 分类号: TH703.2|TP212
• 字数: 3207字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2000.06.007

摘要

在小挠度变形假设的基础上对接触型电容式微型压力传感器进行分析.通过对压力传感器敏感元件硅膜片的弹性分析给出了传感器的模型.传感器的接口电路由MOS电流镜和模拟开关构成,该电路具有线性度好和测量增益高的特点,并能有效地消除电路中的寄生电容对测量的影响,大大降低测量噪声.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯勇建	厦门大学机电工程系	103	953	15.0	26.0
2	许金海	厦门大学机电工程系	6	38	4.0	6.0
3	颜黄萍	厦门大学机电工程系	1	10	1.0	1.0