工艺可靠性及其关键技术

• 作者: 贾新章
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 可靠性 SPC技术 工艺控制
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 13-17
• 页数: 5页
• 分类号: TN406|TN407
• 字数: 6201字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.03.004

摘要

在引入工艺可靠性基本概念的基础上,具体介绍相关的关键技术,并指出工艺可靠性的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾新章	西安电子科技大学微电子所	63	572	14.0	20.0