碟型量子阱微腔激光器的低阈值激射

• 作者: 刘云 刘星元 吴东江 宁永强 武胜利 王立军 赵家民 金亿鑫
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微碟 微腔激光器 激射
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: O432.12|TN248.4
• 字数: 2301字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2000.01.004

摘要

利用反应离子刻蚀(RIE)和湿法腐蚀方法在InGaAs/InGaAsP多量子阱材料上研制出直径为8μm、4.5μm和2μm的碟型半导体微腔激光器.其中2μm直径的微碟在液氮温度下其光泵浦激射阈值仅为3μW左右.对高光功率密度下泵浦时出现的多模激射、跳模和激射光谱强度饱和现象进行了研究.并对微碟激光器的激射光谱线宽特性进行了初步的分析.