氮对类金刚石薄膜的微观结构内应力与附着力的影响

• 作者: 史为民 夏义本 居建华 张伟丽 李志锋 汤定元 王林军 郑国珍 黄志明
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石碳膜 微观结构 附着特性
• 年，卷（期）: 2000,（11）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 2310-2314
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 1989字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.11.038

摘要

采用原子力显微镜(AFM)、俄歇电子能谱(AES)和显微压痕分析等手段对射频等离子体增强化学气相沉积法制备的掺氮类金刚石(DLC:N)薄膜的微观结构和力学性能进行了研究.结果表明,随着含氮量的增加,DLC薄膜的AFM表面形貌中出现了几十纳米的颗粒,原子侧向力显微镜和AES分析表明这种纳米颗粒是x大于0.126的非晶氮化碳CNx结构.这种非晶DLC/CNx的纳米复合结构,减小了薄膜的内应力,从而提高了薄膜与衬底的附着力.