微系统领域的关键技术

• 作者: 侯丽雅 章维一
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微系统 3维成形 空间运动机构 微作业
• 年，卷（期）: 2000,（11）
• 所属期刊栏目: 学科发展
• 页码范围: 1305-1312
• 页数: 9页
• 分类号: TN6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2000.11.032

摘要

评述微系统的3维成形、空间运动机构制作和微作业技术.提出了微系统的定义,指出了它区别于宏系统、微电子系统的特点及这些特点对上述3个技术的影响.评述了LIGA、DRIE、EDM、微浮雕、折叠法、RPM 6种3维成形法,并指出如何组合它们以适应微光学系统、微流体系统、微机构等商品化的配套需要.评述了微运动副的制造方法、带弹性变形件及柔性变形件的微机构设计原理和制造方法,并对它们的选择原则提出建议.评述了微物体在流体中的作业、微注射、狭窄空间中的作业、工作台-机器人系统上的微作业.提出了值得研究的若干课题群.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯丽雅		96	977	17.0	26.0
2	章维一		85	832	16.0	24.0