微传感器和执行器的计算机模拟技术

• 作者: 刘振茂 刘晓为 刘玉强 王喜莲 王蔚
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 微泵 计算机模拟 设计
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: TP15
• 字数: 1773字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2000.03.006

摘要

介绍了计算机模拟技术在微传感器和微执行器设计中的应用,通过对多晶硅压力传感器和微泵膜片的计算机模拟分析,优化了器件的结构设计.研究工作表明计算机模拟是微传感器和微执行器设计的有效工具.