沉积温度对含氢非晶碳膜电学性质的影响

• 作者: 叶超 宁兆元 康健 程珊华 马春兰
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非晶碳薄膜 ECR等离子体化学气相沉积 直流电阻
• 年，卷（期）: 2000,（10）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 2041-2046
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 1535字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.10.028

摘要

用苯作为源气体,使用微波电子回旋共振(ECR)等离子体气相沉积法在不同温度下制备了含氢非晶碳薄膜,研究了沉积温度对薄膜的直流电阻率、击穿场强的影响,发现它们与沉积速率密切相关.测量了薄膜的含氢量与Raman谱,利用Angus等人提出的随机共价网络模型对结果作了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宁兆元	苏州大学物理系	70	528	12.0	18.0
2	叶超	苏州大学物理系	33	244	10.0	14.0
3	程珊华	苏州大学物理系	30	347	11.0	17.0
4	康健	苏州大学物理系	6	46	3.0	6.0
5	马春兰	苏州大学物理系	3	7	1.0	2.0