透明导电氧化物薄膜研究现状与产业化进展

• 作者: 赵谢群
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: TCO ITO AZO 光电性质 制备工艺 应用现状 产业化前景
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 科技动态
• 页码范围: 40-41
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 2890字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2000.01.019

摘要

综述了TCO(透明导电氧化物)薄膜研究开发的历史与现状,展望了产业化前景.传统的ITO薄膜性能优异,是重要的平面显示器件用材料.新型ZnO薄膜成本低廉,极具发展潜力,有望在太阳能电池领域取代ITO(掺锡氧化铟).多元复合氧化物薄膜是TCO的发展方向之一;柔性衬底的应用扩大了TCO薄膜的用途;溶胶-凝胶制备工艺的开发促进了大面积TCO薄膜的实用化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵谢群		4	237	4.0	4.0