计算机数控应力盘面形研究

• 作者: 杨力 谌桂萍
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 应力盘 非球面加工 计算机控制 象差
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 光学非球面
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.6
• 字数: 2118字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2000.03.006

摘要

简要讨论了计算机控制应力盘抛光大口径高陡度非球面的基本原理,用Zernike多项式拟合的数学方法研究应力盘工作过程中的面形动态变化,对这一方法所能达到的精度进行了分析,给出了计算结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨力	中国科学院光电技术研究所	66	783	17.0	26.0
2	谌桂萍	中国科学院光电技术研究所	1	37	1.0	1.0