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非晶氮化硅薄膜退火前后微结构的XPS研究
非晶氮化硅薄膜退火前后微结构的XPS研究
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摘要：
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氮化硅晶须结构的性能研究及其应用现状
氮化硅晶须
结构性能
制备方法
应用现状
富纳米硅氮化硅薄膜光致发光机制
纳米硅
氮化硅薄膜
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燃烧合成氮化硅陶瓷晶须研究进展
燃烧合成
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真空科学与技术学报
主办单位：
中国真空学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
开本：
大16开
出版地：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
邮发代号：
创刊时间：
1981
语种：
chi
出版文献量（篇）
4084
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3
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