平行极板间等离子体RF共振特性研究

• 作者: 熊家贵 王德武
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: RF共振 离子引出 AVLIS PIC模拟
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 307-313
• 页数: 7页
• 分类号: O532|O562.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2000.04.004

摘要

为了探索用于AVLIS的更为有效的离子引出方法,对等离子体的RF共振离子引出方法进行了理论研究,用PIC方法对其进行了模拟.结果表明:在弱磁场下可产生鞘层-等离子体振荡,其振荡频率与理论一致;外加与振荡频率一致的交流电压后将发生共振,其振荡幅度大幅增加,电流加大,共振在等离子体中产生的最大电位幅度可高于外加电压幅度几倍;与离子引出方法中传统的平行板电场相比,RF共振法使得引出的离子流加大,离子引出时间显著缩短.若达到同样的引出时间,共振频率的交流电压的幅度可比直流电压值小一个量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王德武	清华大学工程物理系	36	126	6.0	8.0
2	熊家贵	清华大学工程物理系	5	25	4.0	5.0