光程差倍增的纳米级精度激光干涉仪

• 作者: 曲兴华 赵美蓉 陆伯印
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米计量 激光干涉仪 位移测量 差动干涉 光程差倍增
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 431-434
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 2803字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2000.05.011

摘要

介绍了一种新型的纳米级精度位移测量激光干涉仪.提出了耦合差动干涉的新方法.通过对光程差进行倍增,提高了干涉仪的分辨率和稳定性.该干涉仪结构简洁紧凑,光路布局对称性好,不存在死光程,容易装调,符合阿贝原则和结构变形最小原则,在10 mm(可以扩展至50 mm)测量范围内,获得了λ/1600的分辨率和纳米级的测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵美蓉	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	97	969	15.0	26.0
2	曲兴华	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	131	1717	25.0	35.0
3	陆伯印	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	35	2.0	2.0