锆钛酸铅(PZT)薄膜的自发极化与压电响应

• 作者: 孟中岩 徐东 程晋荣
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 压电薄膜 溶胶-凝胶 MEMS
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 397-400
• 页数: 4页
• 分类号: O482
• 字数: 2111字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-3093.2000.04.013

摘要

用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备了近等原子比的压电PZT薄膜.在准同型相界附近的PZT薄膜的应变机制是受极化控制的压电效应,内电场导致薄膜的自发极化定向,使薄膜未经极化就具有明显的压电响应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟中岩	上海大学材料学院	27	307	11.0	16.0
2	程晋荣	上海交通大学材料学院	12	73	5.0	8.0
4	徐东	上海交通大学信息存储中心	23	187	6.0	13.0