纵向型双电离室ΔE-E探测器系统及其在ERD分析中的应用

• 作者: 刘建成 姜华 李淑媛 梁刚 符长波 赵葵 路秀琴 郭继宇
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 纵向型 双电离室 ΔE-E探测器 ERD分析
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 科技成果
• 页码范围: 116-119
• 页数: 4页
• 分类号: TL811
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2000.02.004

摘要

设计加工了一套纵向型双电离室ΔE-E(气体-固体)探测器系统,由于采用了双电离室及电场均匀技术,得到较好的能量分辨率:利用50.3 MeV的12C在束测量,ΔE分辨率达3.3 %,Er分辨率达1.5 %.利用该系统对新型半导体材料GaAs、新型光电材料GaN等进行ERD分析,得到了材料的元素深度分布谱(分辨达50 nm);在该系统和Q3D磁谱仪配合测量中,得到深度分辨达1 nm的深度分布谱.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵葵	中国原子能科学研究院核物理研究所	23	123	5.0	9.0
2	郭继宇	中国原子能科学研究院核物理研究所	11	43	4.0	5.0
3	路秀琴	中国原子能科学研究院核物理研究所	6	21	3.0	4.0
4	符长波	中国原子能科学研究院核物理研究所	6	26	4.0	5.0
5	梁刚	中国原子能科学研究院核物理研究所	3	9	2.0	3.0
6	刘建成	中国原子能科学研究院核物理研究所	28	107	6.0	9.0
7	李淑媛	中国原子能科学研究院核物理研究所	9	34	4.0	5.0