用喷雾热分解法制备MgO薄膜

• 作者: 宋世庚 林成鲁 武光明 符晓荣
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化镁 薄膜 喷雾热分解
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 字数: 1526字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-3093.2000.01.013

摘要

用压缩空气式喷雾热分解法在Si(100)衬底上制备了(100)取向MgO薄膜.结果表明,衬底温度和喷雾速率是制备(100)取向MgO薄膜的关键因素.在600℃得到了(100)取向的MgO薄膜,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)分析了薄膜的微观结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武光明	北京石油化工学院基础部	41	238	8.0	14.0
2	林成鲁	中国科学院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室	44	595	15.0	23.0
3	宋世庚		2	48	2.0	2.0
4	符晓荣	中国科学院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室	2	18	2.0	2.0