一种实时测量和表征超薄SiO2薄膜的实验方法

• 作者: 刘益春 贾艳 钟殿强 齐秀英
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波等离子体 超薄SiO2薄膜 红外反射吸收光谱
• 年，卷（期）: 2000,（8）
• 所属期刊栏目: 物理实验与应用
• 页码范围: 12-13
• 页数: 2页
• 分类号: O4
• 字数: 1497字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2000.08.005

摘要

采用p-偏振傅里叶变换红外反射吸收光谱技术,实现了对溅射型电子回旋共振微波等离子体技术制备的超薄SiO2薄膜的实时监测和表征.实验表明:该方法是一种无损伤性、快速而准确的实时分析SiO2薄膜质量的有效方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟殿强	东北师范大学物理系	6	35	3.0	5.0
2	齐秀英	东北师范大学物理系	6	35	3.0	5.0
3	刘益春	东北师范大学物理系	50	292	10.0	15.0
4	贾艳	东北师范大学物理系	11	12	3.0	3.0