纳米器件制备的新方法--微接触印刷术

• 作者: 何平笙 潘力佳
• 来源期刊: 化学通报
• 学科: 化学
• 关键词: 微接触印刷术 自组装膜 微模塑 聚二甲基硅氧烷
• 年，卷（期）: 2000,（12）
• 所属期刊栏目: 进展评述
• 页码范围: 12-17,48
• 页数: 7页
• 分类号: O6
• 字数: 5736字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0441-3776.2000.12.003

摘要

微接触印刷术是一种纳米器件制备的新方法,能在金、银、硅片、陶瓷等基材表面印刷出纳米-微米量级的精细结构,印制导电高分子微电路,以及制作三维结构微制品.该方法精确重复,工艺简单,对实验室条件要求也不高,在微电子学、超微机械加工等超微器件制备中有很好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何平笙	中国科学技术大学高分子科学与工程系	126	1481	21.0	31.0
2	潘力佳	中国科学技术大学高分子科学与工程系	6	66	3.0	6.0