MOVPE法生长AlGaAs过程中Al分配系数的动力学研究

• 作者: 余海生 公延宁 夏冠群 莫金玑
• 来源期刊: 半导体学报
• 关键词: AGaAs 金属有机物气相外延 Al的分配系数 动力学
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 137-141
• 页数: 5页
• 字数: 3800字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2000.02.006

摘要

从固态组分控制方面，对AlGaAs的常压金属有机物气相外延(AP-MOVPE)生长技术进行了研究.首先，在假定体系中所涉及气体为理想气体的前提下，经理论推导，给出了AlGaAsAP-MOVPE生长过程中控制参数和A l在固、气相间的分配系数kAl之间的关系式.之后，依据该关系式分析实验数据，并对kAl的动力学行为规律进行了研究.结果表明，kAl值大小与AlAs和GaAs的生长效率(单位Ⅲ A族原子输入量下材料的生长速率)之比K的大小有关：kAl随K的增加而增大；当K＞1时，kAl＞1，当K＜1时，kAl＜1，实际情况以前者居多；只有当K＝1时才kAl＝1.此外，生成GaAs和AlAs的表观反应活化能Ea1和Ea2的不同会导致K，进而kAl随生长温度发生变化：当Ea1，＞Ea2时，kAl随生长温度的升高而减小，当Ea1＜Ea2时，kAl随生长温度的升高而增大，论文得到的结果属后种；只有当Ea1＝Ea2时，kAl才不随生长温度发生变化.再者，kAl还会随Al在气相Ⅲ A族原子中的原子百分含量xVAl的增加而减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏冠群	中国科学院上海冶金研究所	61	307	9.0	16.0
2	公延宁	中国科学院上海冶金研究所	3	22	2.0	3.0
3	莫金玑	中国科学院上海冶金研究所	2	8	1.0	2.0
4	余海生	中国科学院上海冶金研究所	1	0	0.0	0.0