制备工艺对厚膜SnO2气敏元件性能的影响

• 作者: 傅军
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化锡气敏元件 厚膜工艺 膜厚度 热处理 灵敏度
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 13-14
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.92
• 字数: 2871字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2000.02.007

摘要

采用平面丝网印刷技术制备不同厚度的SnO2厚膜气敏试样,在不同温度下进行热处理后,测量试样对乙醇气体的灵敏度,研究热处理温度及敏感膜厚度等对元件性能的影响.结果表明,热处理温度和膜厚的均匀性会影响元件的电阻值和灵敏度,准确控制热处理温度和膜厚能显著改善元件的灵敏度和一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅军	海南师范学院物理系	44	137	6.0	10.0