集成电路工艺仿真系统TSUPREM-Ⅳ

• 作者: 李惠军
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路工艺 计算机辅助设计 计算机模拟
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 器件研究与制造
• 页码范围: 34-36,63
• 页数: 4页
• 分类号: TN402
• 字数: 4633字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.03.010

摘要

SUPREM系列集成电路工艺模拟系统是当今国际上用户群最大的集成电路工艺计算机辅助设计系统.本文介绍该系列系统的最新版本TSUPREM-Ⅳ.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李惠军	山东工业大学电子工程系	1	0	0.0	0.0