直流辉光放电等离子体增强化学气相法制备金刚石及氮化碳薄膜

• 作者: 丁学成 于威 傅广生 刘志强 张连水 王淑芳 韩理
• 来源期刊: 河北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 直流辉光放电 化学气相沉积 金刚石 氮化碳
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 博士论坛
• 页码范围: 78-82
• 页数: 5页
• 分类号: TQ163
• 字数: 2674字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2000.01.021

摘要

采用直流辉光放电等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术方法,在Si(100)衬底上制备了金刚石薄膜,并在此基础上合成了含有少量晶态颗粒的非晶氮化碳薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘志强	河北大学物理系	53	471	11.0	20.0
2	韩理	河北大学物理系	39	204	8.0	11.0
3	傅广生	河北大学物理系	184	817	13.0	17.0
4	于威	河北大学物理系	91	346	9.0	13.0
5	丁学成	河北大学物理系	44	89	5.0	7.0
6	张连水	河北大学物理系	86	284	9.0	12.0
7	王淑芳	河北大学物理系	16	24	3.0	4.0